欧姆龙OMROM

及时捕捉真空泵的异常预兆

2023年12月07日19:25:02

2023年12月09日06:59:52OMROM欧姆龙

技术传承
IoT
预兆保全
大数据活用

欧姆龙野洲工厂的半导体生产线，在保持半导体/MEMS传感器*产品成本竞争力的同时，陆续生产出具有新功能的产品，我们充分利用现有设备实现了多品种少批量生产。欧姆龙OMROM传感器|光电开关|伺服电机|模块|变频器采购联系肖工15197217123（VX同号）在此背景下，我们挑战在尽可能减少投资的同时，防止因设备老化而增加的突发故障。以往真空泵的维护时期由熟练维护人员定期诊断和提前定期维护来决定，现在通过活用数据来捕捉故障的预兆，在适当时机进行维护。
其契机是借助于“现场数据活用服务 i-BELT”的诊断，“避免设备突发故障而导致产品废弃，同时控制投资成本”的愿望，通过现场知识经验、传感的数据化和振动分析技术得以实现。

＊MEMS：Micro Electro Mechanical Systems　在半导体的硅基板、玻璃基板上集成机械元件的传感器、执行器、电子电路等，具有微米级结构的器件，也被称为“微机电系统”

课题

设备维护从“定期”变为“需要时”。
在熟练维护人员不断减少的背景下，希望通过CBM*优化维护时期

同类机型的大量生产逐渐向多品种少批量生产转变，过去设定的维护周期已不再适合。而且随着具备设备异常检测技能的熟练维护人员逐渐减少，因过度维护而导致的成本浪费和突发故障风险日益增加。与之相应的，活用数据来捕捉故障预兆，并在适当时机实施维护实现CBM化，就成为了一大课题。

＊CBM：Condition Based Maintenance　仅在判断有必要时才实施维护

解决方案

活用振动数据实现真空泵的CBM化

半导体生产线上经常使用的成膜装置真空泵，由于反应性气体流入、生成物增加而突发停止，存在大量晶圆报废的风险，因此提高了维护频率。所以，如果成膜装置真空泵的CBM化成功，将会收获很好的效果，通过安装振动传感器，开始持续监控振动数据。我们使用来自振动传感器的数据和振动分析技术，实时转换和监控多个特征量。欧姆龙OMROM传感器|光电开关|伺服电机|模块|变频器采购联系肖工15197217123（VX同号）优化传感器的安装位置、提取有效特征量和优化阈值设定是成功的关键。通过将熟练维护人员的知识与欧姆龙的振动分析仪和技术相结合，我们努力微调设备特有的个体差异并提高可靠性。

成果

突发故障清零，维护成本削减15%

基于振动数据的预测，我们成功地将真空泵的维护周期延长了30%以上。在不引起突发故障的前提下延长维护周期，可以控制检修费用，获得维护成本削减15%以上的效果。通过兼顾风险降低和成本削减，向着设备维护部门实现CBM化的梦想前进了一大步。

重点措施

Point.1
找出现场课题并提出解决对策

虽然CBM化是维护领域的理想，但并未落地，过去都是交由熟练维护人员根据经验判断，并通过设备的间歇性监控和定期维护来应对。
然而，由于生产量的变动和品种的变化，恰当的维护时期也会大幅变动，难以兼顾维护周期的优化和故障突发的风险。此外，熟练维护人员逐渐减少也是一大问题，实现优化维护时期的CBM化成为了当务之急。
尤其是成膜设备真空泵由于突发停止而导致晶圆报废的风险很高，维护频率不断提高，如果CBM化成功，将收获很大效果。